老鼠咬痕|ASML,幹穴

ASML研發部門的的Scott分享了讓石墨工業中會「老鼠咬痕」亂象明天就讓自己介紹怎樣化解某些難題 可以紓解大多數「老鼠咬痕」——則是「元件紋飾偏差」的的重中之重數學方法，即是判斷。

直觀，核心部件花紋瑕疵正是指有元件圖樣飽受不當阻礙例如形變故此加劇造影起至晶圓上才的的圖像構型經常出現障礙比方說可能將元件花紋（Pattern）上所消失大點缺角，自己堅稱那些亂象作為「老鼠咬痕。

簡便來講，模組紋飾偏差就是所指電子元件浮雕不當阻礙或是脫落，因此誘發造影晶圓之上的的繪圖構型消失不足之處。比方說，即使模塊紅底（Pattern上以再次出現了能這個大點缺角，大家並稱現像「老鼠。

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